1 精確化

(1)帶磁性接近開關的氣缸

帶磁性接近開關的氣缸由于在活塞上裝有永久磁鐵，故當活塞運動到接近開關的預設位置時，活塞上的磁鐵使觸點閉合，發出電信號，指示行程位置或控制某一元件動作。 省去了機械定位擋塊和附加的位置傳感器等部件。

(2)氣液變換執行元件

在一些應用場合，不僅要求執行元件有足夠的驅動力，而且要求進給速度均勻、可調、在負載變化時能保持其平穩性。普通氣缸的特點是動作快，但速度不易控制，會出現“爬行”和“自走”等現象，難以滿足這些要求;而液壓缸的特點是動作較慢，但負載剛性高，速度穩定性好。將兩者恰當地組合起來，發揮各自的優點，即成為目前氣動(或液壓)控制系統中普遍采用的氣液壓阻尼缸。氣液變換執行元件單元，利用氣源作動力，可以實現精確的定速、低速進給、點動及中間停止等，可滿足特殊用戶的需求。

(3)具有位移測量和制動(鎖緊)功能的氣缸

帶有位移傳感器的氣缸，利用磁柵尺原理在活塞移動過程中能實時測量位移，其分辨率為0.1mm,它集驅動、測量功能于一一體，可以作為精確定位的位置伺服執行元件使用。

例如，SMC公司生產的ML2B系列是具有位置測量、反饋、無桿和制動綜合功能的氣缸。帶有彈簧、氣壓雙重鎖緊裝置，當活塞速度在500mm/s以下時，無需任何校正控制回路，其停止精度可以在0.5mm以下。在制動(鎖緊)氣缸中設有制動(鎖緊)裝置，可以根據需要使活塞停止在行程的某-確定位置， 定位精度高。

(4)比例控制技術(電氣比例控制閥)

電氣比例控制閥(簡稱氣動比例閥)是在通斷式電磁氣動閥基礎上發展起來的新型氣動控制元件。與通斷式電磁氣動閥不同，電氣比例控制閥可以依靠比例電信號(電壓或電流)的大小，線性地控制閥的輸出氣體流量或輸出氣體壓力，滿足對力或速度控制的要求。

由于采用壓力傳感器檢測被控壓力，構成小閉環回路，使得壓力控制的精度高。其重復精度在滿刻度的0.5%以內。此外，一種新穎的電磁開關型氣動比例控制閥和數字:閥亦得到應用。

電流或電壓模擬量輸人的壓力比例閥已有各種產品推出，但在很多使用場合，并不需要對壓力進行連續控制，只需要預先設定好數點壓力，此時可選擇開關量控制的壓力預置型樂力比例閥，不但壓力設定準確，而且無需A/D、D/A轉換模塊。該系列壓力比例閥的另一個特點是排氣量大，確保不產生壓力超調。

選擇開關量控制的壓力預置型壓力比例閥只要通過按鈕，便可簡便精確地設置16點預置壓力點，實時壓力可由明亮易讀的LED顯示。具有靈敏度高、性能好的特點。

 (5)電氣伺服技術

 在氣動技術領域里，傳統的調節元件往往基于機械反饋工作原理，如經典的減壓閥。目前出現的工業化的氣動閉環控制系統，即伺服氣動系統是在傳感技術、電子技術、現代控制技術和軟件技術的最新發展基礎上實現的。伺服氣動實現了氣動系統輸出物理量的連續控制，主要用于氣動驅動機構的啟動(加速)和制動、速度控制、力量控制(如機械手的抓取力控制)和精確的任意定位方面。

2高速化

氣缸的高速化發展對提高裝置的生產效率有著重要意義，近年來頗引人注目，世界上有名的SMC、CKD、TAIYO、 ORIGA、NORGREN、 MECMEN等公司研制的無出桿氣缸的最大速度都已達到2m/s以上，其他類型的高速氣缸甚至達到了3~4m/s的速度，FESTO公司甚至生產出來了17m/s的高速氣缸。氣缸高速化的發展相應需要解決的技術問題，除對密封的材料、形狀有所考慮外，氣缸的驅動方式及如何吸收沖擊慣量進行緩沖等問題非常重要。對此，國外各企業十分重視，如SMC開發的正弦氣缸最高運行速度可達500mm/m有效地解決了高速和低沖擊的矛盾。

3 小型化

 (1)針筆型氣缸

針筆型氣缸的缸徑小至D=2. 5~15mm,可以用于小型和微型機械設備的場合。

 (2)薄型氣缸

薄型氣缸屬節省安裝空間型氣缸，可以多方位安裝固定，其中軸向超薄型氣缸適用于短屋大推力的場合。而徑向超薄型氣缸，采用橢圓活塞，在同樣推力的情況下，其厚度只是通氣缸的一半。前這項技術不僅應用在驅動信號的傳送上，現場執行元件、機構監控的各類傳感器信號的傳送也開始采用這項技術，使得整個系統的配置更加簡潔、明快。

 (3)低功耗與微電子化

 當前，電磁閥電磁鐵的消耗功率大都在1.8W以下，小氣動換向閥的功率僅為0. 1w,寬度為10mm,直動型閥的功率一般也都小于4W,真正實現了元件的小型化。SMC又為VJ系列閥增設了一種新的節電回路。當線圈通電時間超過30ms時，在保證鐵芯必要吸力的前提下，線圈的功耗可降低30%，電磁鐵低功耗的意義不僅僅在于能節約電能消耗，提高電磁鐵的可靠性，另一方面，也為氣動技術與微電子技術相結合創造了必要條件。在自動化生產裝置中的氣動系統，大都是順序控制回路，低功耗的氣動元件信號可直接作為可編程控制器的信號分時處理，可將驅動幾十個電磁閥的信號，通過根導線傳送到遠距離的集成閥塊上。這項技術不僅大大節省了接線工作，而且也減少了由于復雜接線而引起的故障。目前這項技術不僅應用在驅動信號的傳送上，現場執行元件、機構監控的各類傳感器信號的傳送也開始采用這項技術，使得整個系統的配置更加簡潔、明快。

4 復合化

 氣缸的另一個發展趨勢就是復合化，為了方便用戶，編短用戶進行機械設計的時間，各公司研制出復合化概念的氣缸組件。執行元件不僅具有各種安裝形式，還開發出來了各種具有導向機構和連接結構的氣缸、擺動缸，適用于各種環境(如抗腐蝕、耐污染、耐高低溫、抗震動等)特殊系列的氣動執行元件、超高速和低速元件。在結構上也多樣化，如有活塞桿、無活塞桿、雙活塞桿、磁性活塞、橢圓活塞、帶閥氣缸、帶行程開關或傳感器氣缸、比例伺服氣缸等。例如SMC公司的MRQ系列直線、播動復合缸，具有兩個運動自由度，再配上兩個靈活的氣爪，構成了頗有用途的機械手。NOK公司的FPT系列的平臺承重式氣缸將導軌、平臺、氣缸一體化，該氣缸平臺直接承重達780kg,可直接用作小型壓力機下的移動底座。

5集成化

 (1)集成化發展

 元件上各種功能的集成，根本的目的在于降低設計和安裝調試的工作量，節省器件要求的空間。這一要求與趨向，表現在工業自動化領域的所有方面，對于每一個氣動產品的生產廠家都是一個繼續維持競爭能力的關鍵。計算機技術、微電子技術和IC技術的發展，使得機電-體化有了更加廣闊的發展空間。在原來的氣控閥、氣動執行元件上安裝些電 子元件或裝置，如D/A轉換、信號放大、調制、解碼、測量與信號反饋等，從而實現將電子與氣動控制閥結合在一體，甚至直接與執行元件集成化的氣動裝置，極大地提高了系統可靠性和維修使用性能。FESTO公司的轉動、上下料、分度裝置;馬通公司的單坐標機械手成套裝置，包括氣缸、機械手、控制器、測量裝置; SMC、小金井、CKD等公司的各類小型機械手、機器人，帶導向機構的進給裝置、分度定位裝置、既可實現轉動又可實現位移的復合氣缸等，它們都已作為定型產品生產，實際上這是一個極為重要的發展方向，也是氣動技術發展的必然趨勢。

 (2)控制閥與控制器的集成閥島

 “閥島”-一 詞譯自德語的“Ventilinsel”, 英文譯為“Valve Terminal”。常規方式實現的氣控單元，其特點是系統中包含大量的分立元器件，并且這些分立的元器件是通過大量的管件以及接插件實現連接的。相互連接復雜，引發的故障率高，同時還給設備的管理和維護帶來不便。把控制閥的供氣支路和排氣口等氣流通道集成，把傳感器輸人電信號的接線集成在一個插座里，形成模塊化的、小巧的集成塊則稱為閥島。如FESTO公司的閥島，就已經集成各種氣動閥、傳感器、總線接口和編程控制等各種功能。

 在閥島上，可編程控制器的輸出信號、輸人信號均通過根帶 多針插頭的多股電纜與閥島連接，而由傳感器輸出的信號則通過電纜連接到閥島的電信號輸人口上。因此，可編程控制器與氣動閥、傳感器輸人電信號之間的接口簡化為只有-一個多針插頭和一根多股電纜。 與常規方式實現的控制系統比較可知，采用多針接口的閥島后，系統不再需要接線盒。同時，所有電信號的處理、保護功能(如電信號的極性保護、光電隔離、防水等)都已在閥島上實現。顯然，通過采用多外接口的閥島使得系統的設計、制造和維護過程大為簡化。

 然而，隨著控制回路的復雜化，可編程控制器輸出、輸人口與閥島的電纜將加粗并隨著閥島與可編程控制器的距離增大而加長。為克服這一缺點，出現了新型的帶現場總線的閥島。兩個采用現場總線進行信息交換的對象之間只需由一根兩股或四段的電線連接。這樣就可以簡化電纜的連接，抗干擾性更強，數據傳輸的可靠性更高。